| دانلود رایگان مقاله انگلیسی + خرید ترجمه فارسی
|
|
| عنوان فارسی مقاله: |
روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون |
| عنوان انگلیسی مقاله: |
Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating |
|
|
| مشخصات مقاله انگلیسی (PDF) | |
| سال انتشار | 2013 |
| تعداد صفحات مقاله انگلیسی | 8 صفحه با فرمت pdf |
| رشته های مرتبط با این مقاله | مهندسی شیمی، مهندسی مکانیک، مهندسی پلیمر، مهندسی مواد |
| گرایش های مرتبط با این مقاله | مواد مرکب، نانو مواد، مواد و متالوژی |
| مجله | حسگرها و محرک A: فیزیکی |
| دانشگاه | گروه مهندسی شیمی و بیومولکولی، دانشگاه کالیفرنیا، برکلی، کالیفرنیا، ایالات متحده آمریکا |
| کلمات کلیدی | MEMS، ساختارهایی با نسبت جنبه یا ابعاد بالا، سیلیکون پلی کریستال، روان کننده جامد، Stiction یا اصطکاک استاتیک ، اصلاح سطح، مقاومت در برابر سایش |
| شناسه شاپا یا ISSN | ISSN 0924-4247 |
| رفرنس | دارد |
| لینک مقاله در سایت مرجع | لینک این مقاله در نشریه Elsevier |
| نشریه | Elsevier |
| مشخصات و وضعیت ترجمه فارسی این مقاله (Word) | |
| تعداد صفحات ترجمه تایپ شده با فرمت ورد با قابلیت ویرایش و فونت 14 B Nazanin | 13 صفحه |
| ترجمه عناوین تصاویر و جداول | ترجمه نشده است |
| ترجمه متون داخل تصاویر | ترجمه نشده است |
| ترجمه متون داخل جداول | ترجمه نشده است |
| درج تصاویر در فایل ترجمه | درج شده است |
| درج جداول در فایل ترجمه | درج شده است |
| درج فرمولها و محاسبات در فایل ترجمه به صورت عکس | درج شده است |
- فهرست مطالب:
چکیده
مقدمه
2. جزئیات تجربی
2.1 ساختار دستگاه، اصلاحات ساختی و سطحی
2.2 اندازه گیری نیروهای چسبندگی
2.3 مطالعه ی طول عمر
3.نتایج و بحث
3.1 اندازه گیری نیروی چسبندگی
3.2 مطالعات طول عمر
4. نتیجه گیری
- بخشی از ترجمه:
4. نتیجه گیری
این کار نشان داد که اندازه گیری نیروهای چسبندگی سطحی دستگاه و مطالعات اثر چرخه ای، مستقیما تعاملات متقابل پلی سیلیکون و polySiC را مقایسه می کند. وابستگی اصطکاک استاتیک به منطقه آشکار تماس (که توسط گودی های ریزساخت تعریف می شوند)، برای هر دو سیستم مواد، کمیتی شده است. همانطور که مشاهده شد SiC پلی کریستالی، نیروی چسبندگی کمتری را از نصف آنهایی که با پلی سیلیکون بودند را نشان می دهد. این کار اسناد بیشتری در مورد تکامل خصوصیات مورفولوژیکی، الکتریکی، و شیمیایی سطوح پلی یلسیکون و سطوح polySiC را تحت تماس های چرخه ای برای بیش از 100 بیلیون بار می باشد. روش بالا، اثرات مفید پوشش کاربید سیلیکونی نازک را بر روی پلی سیلیکون را نشان می دهد که باعث افزایش و بهبود قابلیت اطمینان تماسی می شود. بطور ویژه دیده شده است که پوشش SiC، مقدار ساییدگی چسبندگی و شکستگی ذره را سرکوب می کند: تغییرات کم برای مورفولوژی سطح SiC و مقاومت سایشی تحت نیروهای برخوردی نسبتا بالا برای بیش از 100 بیلیون بار چرخه را نشان می دهد؛ در مقابل پلی سیلیکون، آثار ساییدگی را نشان می دهد و مشخصات سطحی دهانه مانند نشان دهنده ی شکستگی ذره از بارگذاری چرخه ای هستند. دستگاهها، انعطاف پذیریشان را برای شکست اصطکاک استاتیک نگه می دارند که به علت انرژی کم سطح در حضور پوشش SiC است و فشار مکانیکی را به دلیل تماس سخت سطوح را شتاب می دهد. دستگاههای سازگارتر، بطور موفقی با توجه به ماهیت انرژی کم سطح پوشش SiC خودشان، فعالانه بکار می افتند. این کار بیشتر نشان می دهد که اصلاح سطح ریزدستگاههای مبتنی بر سیلیکون از طریق پوشش نازک SiC پس از انتشار ریزساختارها، روش موثری برای سرکوب اصطکاک استاتیک و مکانیسم های شکست مرتبط به ساییدگی هستند درحالیکه از محدودیت ها در مراحل ابتدا تا انتهای ساخت اجتناب می کند.
- بخشی از مقاله انگلیسی:
4. Conclusions
This work illustrates device-level measurements of adhesion forces and cyclic impact studies directly comparing polysilicon and polySiC interfaces. The dependence of stiction on apparent area of contact (as defined by microfabricated dimples) has been quanti- fied for both material systems. It was observed that polycrystalline SiC exhibit adhesion forces less than half those on polysilicon. This work further documents the evolution of morphological, electrical, and chemical properties of polysilicon and polySiC surfaces undergoing cyclic contacts for over 100 billion times. The above approach highlights the beneficial effect of a thin silicon carbide coating on polysilicon by enhancing contact reliability. More specifically, it was seen that SiC coating suppresses the rate of adhesive wear and grain fracture: little change to the SiC surface morphology and suggest wear resistance under relatively high impactforces for over 100 billion cycles; in contrast to polysilicon which exhibited wear debris and crater-like surface features indicative of grain fracture from cyclic loading. The devices remained resilient to failure from stiction due to low surface energy in the presence of SiC coating, and to accelerated mechanical stress due to hardened contacting surfaces. More compliant (longer) devices have been successfully actuated owing to low surface energy nature of SiC coating. This work further demonstrates that surface modification of silicon-based microdevices through thin SiC coating after microstructure release is an effective approach to suppress stiction and wear-related failure mechanisms while avoiding constraints on the front-end fabrication steps.
| دانلود رایگان مقاله انگلیسی + خرید ترجمه فارسی
|
|
| عنوان فارسی مقاله: |
روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون |
| عنوان انگلیسی مقاله: |
Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating |
|
|