دانلود ترجمه مقاله نظارت بر پروسه های ساخت دقیق با انتشار آکوستیک – مجله الزویر

فهرست مطالب:

خلاصه
مقدمه
ضروریات برای تکنولوژی حس گر در مقیاس دقیق
منابع برای AE در تولید دقیق
کنترل کردن پوشش چرخ خردکن بر اساس AE
ترسیم کردن توپوگرافی چرخ خرد کننده
مکانیسم پوشش چرخ
کنترل آسیاب بر اساس AE
کنترل کردن پلاناریزیشن مکانیکی ـ شیمیایی بر اساس AE
نوشتن دقیق برش های نازک انجام شده با CMP
مسیر نقطه پایانی برای CMP بر اساس  AE
کنترل کردن ماشین فوق دقیق بر اساس AE
کنترل کردکن چرخش فوق دقیق از مس کریستال تنها
کنترل کردن چرخش فوق دقیق از پلی کریستالین
نتیجه گیری

بخشی از ترجمه:

مقدمه

ضروریات کنونی درصنایع با تکنولوژی بالا مانند نیمه های ، اپتیک MEMS و غیره نیازی برای فرایندهای تولیدی اظهار داشته که بتوانند مشخصه های کوچکتر خیلی زیادی را به طور قابل اطمینان در مقاومت خیلی بالایی تولید کنند . این نیاز رو به افزایش برای توانایی جهت تولید مشخصه ها در کوچکترین مقیاس های طولی و دقت بیشتری می تواند در منحنی تانیگاچی ارائه شود ( شکل ۱ ) که توضیح می دهد که کوچکترین صحت قابل حصول ( و در نتیجه ، کوچکترین مشخصه قابل تولید ) به عنوان یک عملکردی از زمان کاهش می یابد .

در سیستم های کنترل شونده که می توانند برای شناسایی کردن به کنترل و بهبود بخشیدن تولید این مشخصه های کوچکتر مورد استفاده قرار بگیرند که برای برآوردن نیازهای رو به افزایش در دقت و کیفیت مورد نیاز می شوند . کنترل کردن بر اساس حس گر ، اطلاعات با ارزشی درباره فرایند تولیدی می دهد که می تواند به عنوان هدف دوگانه از کنترل فرایند و کنترل کردن کیفیت عمل کند و در نتیجه بخشی از هر محیط تولیدی خواهد بود که به طور کامل اتومات شده است . به هر حال ، برای هر حس گر که می خواهد به عنوان یک ابزار کنترلی استفاده شود ، یک اندازه بالای از اطمینان و اعتماد در مشخص کردن و فرایند تولید مورد نیاز می باشد . همانطور که در مرور مقاله قبلی به وسیله دورنفلید و دیگران توضیح داده شد ، انتشار اکوستیک (AE ) یک میزان بالایی از اطمینان را در شناسایی پدیده های متعدد مرتبط با جابجایی مواد توضیح داده است ، مخصوصاً در مقیاس کوچک ، از این رو به مناسب بودن برای کنترل فرایند تولید دقیق اعتبار می دهد . این کار حساسیت AE را در سه نظام تولیدی مختلف توضیح می دهد که در منحنی تانیگاچی ترسیم شده است ، مقیاس های خیلی دقیق ، سنتی / نرمال ( شکل ۱ ) .

 نتيجه گيري :
همانطور که هدف گرايش هاي توليد کنوني ، شکل و مشخصه هاي بهتر و کوچکتر مي باشد ، يک وسيله قابل اطميناني از فرايند کنترل کردن ، تکنولوژي حس گر مناسب براي شناسايي به طور مناسب  و کنترل کردن عملکرد تويد ضروري مي باشد . همانطور که با جستجوي نقطه پاياني در CMP و جستجوي کريستالوگرافيک در ماشين فوق دقيق توضيح داده شده AE قادر است اين ضروريات را برآورده سازد  ، مخصوصاً براي پارامترهاي فرايند جابجايي مواد مانند اندازه هاي جابجايي مواد و ضخامت قطعه خيلي کوچک بريده نشده از اين قبيل مي باشند . استفاده از AE به عنوان يک فرايند سيتو براي کنترل کردن و شناسايي کردن ابزار مي تواند به عنوان وسيله اي از مراحل کنترل کيفيت و توليد آن با همديگر قرار بگيرد و همراه با پيشرفت در يک محيط توليدي که به طور کامل اتومات شده مي باشد ، مرحله کنترل کيفيت مي تواند به طور کلي با کنترل کردن سيتو به طور مناسب و کنترل فرايند حذف شوند.

بخشی از مقاله انگلیسی:

Introduction

Current demands in high-technology industries such assemiconductor, optics, MEMS, etc. have predicated theneed for manufacturing processes that can fabricateincreasingly smaller features reliably at very high tolerances.This increasing demand for the ability to fabricatefeatures at smaller length scales and at greater precision canbe represented in the Taniguchi curve (Fig. 1), whichdemonstrates that the smallest achievable accuracy (and, asa consequence, smallest reproducible feature) decreases as afunction of time [1].

In situ monitoring systems that can be used tocharacterize, control, and improve the fabrication of thesesmaller features are therefore needed to meet increasingdemands in precision and quality. Sensor-based monitoringyields valuable information about the manufacturingprocess that can serve the dual purpose of process controland quality monitoring, and will ultimately be the part ofany fully automated manufacturing environment. However,a high degree of confidence and reliability in characterizing the manufacturing process is required for any sensor to beutilized as a monitoring tool. As demonstrated in a previousreview paper by Dornfeld et al. [2], acoustic emission (AE)has demonstrated a high degree of confidence in characterizingvarious phenomena related to material removal,particularly at the microscale, hence lending credence toits suitability for precision manufacturing process monitoring.This work serves to demonstrate sensitivity of AE at thethree different manufacturing regimes outlined in theTaniguchi curve; the normal/conventional, precision, andultraprecision scales (Fig. 1).

8. Conclusions

As current manufacturing trends aim for smaller and finer form and features, a reliable means of process monitoring with the appropriate sensor technology is necessary to properly characterize and monitor the manufacturing operation. As demonstrated by with endpoint detection in CMP and crystallographic orientation detection in ultraprecision machining, AE is capable of meeting these requirements, especially for material removal process parameters such as material removal rates and very small uncut chip thicknesses. The use of AE as an in situ process monitoring and characterization tool can serve as a means of closely linking the manufacturing and quality control stages together, and with further development, in a fully automated manufacturing environment, the quality control stage can be entirely eliminated with optimal in situ monitoring and process control.