دانلود مقاله ترجمه شده کنترل فیدبک آماری یک روند اچ پلاسما – مجله IEEE

• فهرست مطالب:

چکیده
۱.پیشگفتار
۲.سناریوها و مدل‌های تجهیزات
راه اندازی آزمایشی
واکنش‌ها و روش‌های سنجش (یا اندازه‌گیری)
مدلبندی تجهیزات
۳.استراتژی کنترل
مدل مبتنی بر SQC و الگوی سازگاری
۴.آزمایش‌ها و نتایج
آزمایشات تایید SPC
نتایج
۵.نتیجه‌گیری
ضمیمه‌ی

• بخشی از ترجمه:

۵.نتیجه‌گیری
در این مقاله، مفاهیم کلی و جرئیات خاص عملیات یک فرایند اچ پلاسما (یا خون) تحت نحوه‌ی عمل کنترل فرایند نشان داده شده است. این حالت (یا نحوه) به اپراتور امکان تعریف فرایند را نه تنها از نظر تنظیمات کنترل بلکه از نظر الزامات همه‌ی مشاهده‌پذیر‌های اندازه‌گیری شده می‌دهد. با حسگرهای موجود برای اندازه‌گیری وضعیتی این مشاهده‌پذیرها، یک روند SQC برای نظارت مقادیر (واقعی پیش‌بینی شده‌ی) این مشاهده پذیرها توسعه یافته است. هنگامی که از روش‌های SQC مشخص می‌شود که انحراف از نتیجه‌ی پیش‌بینی شده از نظر آماری قابل توجه است، مقدار جمله‌ی ثابت مدل فرایند/تجهیزات، در مدل فرایند چندجمله‌ای اصلی برروزرسانی می‌شود. یک بهینه‌ساز سپس به طور خودکار، فرایند را مجددا تنظیم می‌کند، و دستورالعمل جدید را فراهم می‌کند که آخرین حالت تجهیزات را فرا می‌گیرد و همه‌ی مشاهده‌پذیرها را در نظر می‌گیرد، به طوری‌که همه‌ی آن‌ها را با هدف در مقادیر هدف مربوطه‌شان حفظ می‌کند.

• بخشی از مقاله انگلیسی:

V. CONCLUSION

This paper has demonstrated the general concepts, and the specific details, of operating a plasma etch process under the process control mode of operation. This mode allows the Operator to define the process not in terms of the control settings, but in terms of the requirements of all the measured observables. With sensors available for the insitu measurement of these observables, an SQC procedure has been developed to monitor the (actual-predicted) values of these observables. When it is determined from SQC methods that the deviation from the anticipated result is statistically significant, the value of the constant term of the process/equipment model is updated in the original polynomial process model. An optimizer then automatically re-tunes the process, and provides a new recipe that comprehends the latest equipment state and considers all the observables, so as to keep all of them aimed at their respective target values.

دانلود رایگان مقاله انگلیسی

خرید ترجمه فارسی مقاله