دانلود ترجمه مقاله سوده شناسی میکرو/ نانو مصالح MEMS

• فهرست مطالب:

خلاصه
۱٫ مقدمه- مسائل تریبولوژیکی در MEMS
۲٫ مطالعات تریبولوژیکی در مورد مواد MEMS
۱٫ ۲ نمونه های سیلیکون استفاده نشده و روکش دار/ اصلاح شده
۱٫ ۱٫ ۲ خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون و اثر کاشت یون
۲٫ ۱٫ ۲ اثر اکسایش بر خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون
۲٫ ۲ مطالعات تریبولوژیکی فیلم های پلی سیلیکون و SiC
۳٫ مطالعات تریبولوژیکی روان کننده ها برای MEMS
۱٫ ۳ روان کننده های پرفلوروپلی اتر
۲٫ ۳ فیلم های Langmuir-Blodgett و تک لایه های خود مونتاژ
۲٫ ۴ اندازه گیری نیروی اصطکاک استاتیک (stiction) در MEMS
۳٫ ۴ مکانیزم های مرتبط با پدیده های اصطکاک استاتیک مشاهده شده در میکروموتورها
۵٫ نتایج

• بخشی از ترجمه:

۵٫ نتایج
مسائل تریبولوژی بر عملکرد مطمئن وسایل MEMS اثرگذار بوده و باید در مقیاس میکرو/ نانو شناخته شوند. برای شناسایی بهترین نامزدها برای MEMS، خصوصیات تریبولوژیکی مواد و روان کننده ها برای وسایل MEMS باید مورد ارزیابی قرار بگیرد. خلاصه مطالعات تریبولوژیکی مختلف وابسته به MEMS، مطرح شده است. دیده شد که ازتکنیک های مبتنی برAFM/FFM می توان به شکلی رضایت بخش برای مطالعه و ارزیابی پدیده های تریبولوژیکی میکرو/نانومقیاس مرتبط با وسایل MEMS استفاده نمود. چنین مطالعاتی برای اعلام و نشان دادن تاثیر گسترده MEMS در صنعت و زندگی های روزمره ما، لازم و ضروری هستند.

• بخشی از مقاله انگلیسی:

۵ CONCLUSIONS

Tribology issues affect the reliable operation of MEMS devices and need to be understood on the micro/nanoscale. Tribological properties of materials and lubricants for MEMS devices need to be evaluated to identify the best candidates for MEMS. A summary of various tribological studies pertaining to MEMS has been thus far presented. It was seen that AFM/FFMbased techniques can be satisfactorily used to study and evaluate micro/nanoscale tribological phenomena related to MEMS devices. Such studies are necessary to herald the widespread impact of MEMS in the industry and our everyday lives.

دانلود رایگان مقاله انگلیسی

     خرید ترجمه فارسی مقاله